檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "sputter".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="自組裝單分子薄膜"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
本論文藉由物理氣相沉積系統(PVD)沉積矽薄膜於自組裝單分子薄膜(SAM)改質後的石英基板,並利用固相結晶法(SPC)使非晶矽薄膜結晶為多晶矽薄膜,最後使用SEM觀察表面型態;Raman光譜、XRD…
2
本論文利用射頻電漿濺鍍沉積氧化鋅鋁(AZO)薄膜於自組裝單分子層薄膜(self-assembled monolayer, SAM)修飾後的玻璃基板,一般而言,低溫製程環境下所沉積出來的AZO薄膜不具…